Le TAU UHV est une source d’évaporation par faisceau d’électrons à quatre creusets, compatible avec l’ultra-vide (UHV), conçue pour le dépôt de couches minces.
Le TAU UHV est la version UHV de notre source propriétaire.
Configuré selon différentes tailles et angles de brides, le TAU UHV peut être intégré à tout système de dépôt existant.
Compact et performant pour l’évaporation de métaux, le TAU UHV permet l’évaporation de jusqu’à quatre creusets, de manière simultanée ou séquentielle. Chaque creuset peut être équipé de creusets (crucibles) ou de tiges (rods).
- Montage sur bride CF63
- Température de chauffe jusqu'à 250°C
- Longueur jusqu'à 800 mm.
- Mini source d'électrons à 4 creusets
- Évaporation séquentielle ou simultanée
- Électrodes de contrôle du flux
- Refroidie par eau