Le système HEX est basé sur une chambre à vide poussé monobloc en aluminium, de forme hexagonale. Conçue pour être à la fois légère et rigide, cette structure est parfaitement adaptée aux exigences des procédés de dépôt physique en phase vapeur (PVD).
Sa géométrie innovante permet l'intégration de six panneaux modulaires interchangeables, offrant une grande flexibilité pour répondre à divers besoins expérimentaux ou industriels :
- Panneau aveugle pour fermetures simples
- Panneau hublot pour l’inspection visuelle ou l’éclairage
- Panneau source dédié aux dispositifs de dépôt
- Panneau QCM pour le suivi in situ du taux de dépôt
- Panneau personnalisé pour l’intégration d’équipements tiers
La série HEX de systèmes de dépôt de couches minces se distingue par sa conception entièrement modulaire.
Chaque système est équipé de panneaux latéraux amovibles, permettant aux utilisateurs de démarrer avec une configuration simple, puis de l’adapter ou l’étendre facilement selon l’évolution de leurs besoins ou de leur budget.
Les modules complémentaires sont conçus pour être faciles à installer, sans interruption du fonctionnement du système.
La série HEX comprend le modèle de paillasse HEX, ainsi que les versions plus grandes HEX-L et HEX-XL.
(Consultez la page “HEX vs HEX-L vs HEX-XL” pour plus de détails.)
HEX Steel — L'alternative en acier inoxydable.
Bien que l’aluminium reste le matériau privilégié pour les chambres de dépôt PVD en raison de sa légèreté et de sa modularité, une alternative en acier inoxydable, appelée HEX Steel, est désormais proposée.
Cette version offre plusieurs avantages techniques :
- Meilleure résistance chimique et à la corrosion
- Plus grande stabilité thermique
- Durabilité accrue
- Possibilité de chauffe à haute température
Malgré un matériau différent, le système conserve exactement la même modularité que les modèles en aluminium (HEX et HEX-L), grâce à des panneaux démontables et étanchéifiés par joints toriques.
Seule contrainte : en raison de son poids et pour des raisons de sécurité, le HEX Steel ne peut pas être utilisé en configuration de paillasse ; il doit être fixé au rack de commande intégré, qui facilite également la gestion des câbles et fluides.
La gamme se décline en trois formats :
Le modèle benchtop HEX, ainsi que les versions étendues HEX L et HEX XL, conçues pour répondre aux besoins les plus exigeants.
HEX
Système compact de paillasse ou monté en rack
- Diamètre maximal de l’échantillon : 4" (100 mm)
- Sources de dépôt : jusqu’à 3
- Taille du cathode magnétron (diamètre) : 2"
- Volume de la chambre : 12 L (24 L en version empilée)
- Pression de base : 5×10⁻⁷ mbar*
HEX-L
Système mobile monté sur socle
- Diamètre maximal de l’échantillon : 6" (150 mm)
- Sources de dépôt : jusqu’à 6
- Taille du cathode magnétron (diamètre) : 2" ou 3"
- Volume de la chambre : 50 L (100 L en version empilée)
- Pression de base : < 5×10⁻⁷ mbar*
HEX-XL
Système mobile plus grand monté sur socle
- Diamètre maximal de l’échantillon: jusqu’à 12" (300 mm)
- Sources de dépôt : jusqu’à 6
- Taille du cathode magnétron (diamètre) : 3" ou 4"
- Volume de la chambre : 86 L (172 L en version empilée)
- Pression de base : < 5×10⁻⁷ mbar*