Fidèles à notre philosophie de flexibilité et d’évolutivité, les « Clusters HEX » permettent aux utilisateurs de commencer avec une seule chambre HEX-L, puis de connecter ultérieurement d’autres chambres HEX-L pour assurer le transfert sous vide des échantillons entre elles.
Ce système offre une solution pour rendre le processus de dépôt de couches minces plus flexible, économique et efficace.
Le design très modulaire privilégie la personnalisation et la flexibilité pour les fabricants et les chercheurs utilisant le dépôt de couches minces.
En somme, les clusters PVD HEX permettent de produire des films minces de manière durable et efficiente. Il est alors possible de :
- Développer des multicouches composées de différentes classes de matériaux
- Séparer les étapes du processus de dépôt de couches minces dans différentes chambres
- Augmenter la capacité PVD avec davantage de chambres de dépôt, sources et outils
- Préparer votre recherche pour l’avenir
Intégration sans limites — La personnalisation à l’état pur.
Avec la série HEX, la personnalisation devient la norme, pas l’exception.
Grâce à sa conception ultra modulaire, chaque panneau peut être remplacé en quelques minutes, transformant la chambre à vide selon vos besoins, même après l’achat.
Besoin d’évoluer ?
Ajoutez de nouveaux instruments sans redessiner le système, sans immobiliser votre équipement, et sans faire appel à un ingénieur sur site.
Un simple module, une installation rapide, et votre système est prêt pour de nouvelles performances.
Exemples d’intégration possible.
- Canon à électrons haute puissance
- Canon ionique
- Surveillance optique en temps réel
- Générateur de nanoparticules
- Analyseur de gaz résiduels (RGA)
- Sputtering doux pour matériaux sensibles
Évolutif par nature.
Avec HEX, vous restez maître de votre plateforme.
Analyse, dépôt, contrôle : tout est adaptable, extensible, évolutif.
Faites évoluer votre outil de recherche au rythme de vos idées, et non l’inverse.
Parlez-nous dès aujourd’hui de votre projet & découvrez comment intégrer ces options à votre système PVD modulaire.